Q. 반도체 공정엔지니어가 설비의 spec 확인

답변 5

• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 78% ∙

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  일치

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  nm단위까지 미세하게 완전 컨트롤 하기가 힘들어서 반도체가 힘듭니다 ㅜㅜ 보통 계측을 해도 0.01nm 이렇게 까지는 못맞춥니다. 1nm 정도 까지는 당연히 맞추구요 ㅎ 그래서 데이터를 관리하는데 동일 제품에서 산포가 벌어지지 않게 관리를 해야하고 이때 표준편차를 쓰는 3sigma값을 사용하게 됩니다. Spec을 맞추기 위한 산포관리를 위한 3sigma 통계적 관리인거죠 ㅎ 당연히 매뉴얼이나 제품마다 spec은 다 존재하지만 매번 엇나가는 것도 많아서 이때 공정엔지니어는 설비history를 확인하거나 공정 파라미터를 다 뜯어 보게됩니다.

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• 흰

  흰수염치킨삼성전자

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  일치

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  안녕하세요. 멘토 흰수염치킨입니다. 각 설비별로 정해진 스펙이랑 사양이 정해져있어요 회사 내부에서 확인 가능해요 히스토리도 볼 수 있고요! 도움이 되었으면 좋겠네요. ^_^

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• 개

  개미는오늘도뚠뚠삼성전자

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  일치

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  안녕하세요 멘티님 충분히 작성하신것과 같이, 정리된 메뉴얼이 설비별로 존재합니다. 설비 히스토리경우도 pc로 충분히 확인 가능하구요, 하지만 히스토리와 메뉴얼을 같이봐야 문제에 대해 대처하는것이 좀더 수월하고 기본이긴 해요

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• P

  PRO액티브현대트랜시스

  코전무 ∙ 채택률 100%

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  안녕하세요! 장비별 증착·식각 속도 등 공정 Spec은 보통 장비 매뉴얼, 공정 표준서(SOP), 데이터베이스에 정리되어 있습니다. 필요 시 설비 history나 로그를 통해 실제 공정 이력과 편차를 확인할 수도 있습니다. 즉, Spec 확인은 매뉴얼/DB 우선, 세부 확인은 장비 history 조회가 일반적입니다.

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• 황

  황금파이프삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 77% ∙

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  일치

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  안녕하세요. 네 기본적으로 이론 및 평가로 구해놓은 자료(데이터)들이 있고, 증착속도나 식각속도는 일반적으로 선형성이 아니라 파라볼릭하기는 한데 실시간으로 감지하는 센서가 있고, 그것을 시스템으로 올린 후에 데이터 가공을 통해 시각화하는 사내 Tool이 있습니다. 설비 자체 프로그램에도 Data가 올라오는 경우도 있으나 가독성이 떨어져서 보통은 사내 Tool 사용합니다. 도움되었다면 채택 부탁드립니다.

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